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光栅尺芯片
光栅尺芯片‌是一种利用光栅结构将光信号转化为电信号,并通过信号处理电路进行测量和分析的尺寸检测器件。它具有高精度和高分辨率的特点,能够实现对纳米级尺寸的检测和测量‌